Эпитаксияи нури молекулавӣ ё MBE, як усули нав барои парвариши филмҳои тунуки баландсифати кристаллҳо дар субстратҳои булӯр мебошад.Дар шароити вакууми ултрабаланд, аз ҷониби плитаи гармидиҳӣ бо ҳама гуна ҷузъҳои зарурӣ муҷаҳҳаз карда мешавад ва ба воситаи сӯрохиҳо, ки пас аз коллиматсияи чӯби атомӣ ё молекулавӣ ба вуҷуд омадаанд, инъекцияи мустақим ба ҳарорати мувофиқи субстрати монокристалл, назорати чӯби молекулавӣ барои сканкунии субстрат дар айни замон, он метавонад молекулаҳо ё атомҳоро дар қабатҳои кристаллӣ созад, то дар "афзоиши" субстрат як филми тунукро ба вуҷуд оварад.

Барои кори мӯътадили таҷҳизоти MBE, тозагии баланд, фишори паст ва нитрогени моеъи ултра тоза лозим аст, ки пайваста ва устувор ба камераи хунуккунии таҷҳизот интиқол дода шаванд.Умуман, зарфе, ки нитрогени моеъ медиҳад, фишори баромади байни 0,3МПа ва 0,8МПа дорад. Нитрогени моеъ дар -196℃ ҳангоми интиқоли қубур ба нитроген ба осонӣ бухор мешавад.Вақте ки нитрогени моеъ бо таносуби газу моеъ тақрибан 1:700 дар қубур газ карда мешавад, он миқдори зиёди фазои ҷараёни нитрогени моеъро ишғол мекунад ва ҷараёни муқаррариро дар охири қубури нитрогени моеъ кам мекунад.Илова бар ин, дар зарфи нигоҳдории нитрогени моеъ, эҳтимол дорад, ки партовҳои тозанашуда мавҷуданд.Дар лӯлаи нитрогени моеъ мавҷудияти ҳавои тар низ боиси пайдоиши шлакҳои ях мегардад.Агар ин ифлосиҳо ба таҷҳизот рехта шаванд, он ба таҷҳизот зарари пешгӯинашаванда мерасонад.

Аз ин рӯ, нитрогени моеъ дар зарфи нигоҳдории беруна ба таҷҳизоти MBE дар сехи бе чанг бо самаранокии баланд, устуворӣ ва тоза интиқол дода мешавад ва фишори паст, нитроген, наҷосат, 24 соат бефосила, чунин системаи назорати нақлиёт аст. маҳсулоти соҳибихтисос.