Эпитаксияи шуои молекулавӣ ё MBE як усули нави парвариши плёнкаҳои тунуки баландсифати кристаллҳо дар субстратҳои кристаллӣ мебошад. Дар шароити вакуумии ултрабаланд, оташдони гармидиҳӣ бо ҳама намуди ҷузъҳои зарурӣ муҷаҳҳаз карда мешавад ва буғ тавлид мешавад. Ин сӯрохиҳо пас аз ҷамъшавии шуои атомӣ ё молекулавӣ ба вуҷуд омада, мустақиман ба ҳарорати мувофиқи субстрати як кристаллӣ ворид карда мешаванд ва шуои молекулавӣ ба субстрат скан карда мешавад. Ҳамзамон, он метавонад молекулаҳо ё атомҳоро дар қабатҳои ҳамоҳангсозии кристаллӣ барои ташкили плёнкаи тунук дар субстрат "афзоиш" диҳад.

Барои кори муқаррарии таҷҳизоти MBE, нитрогени моеъи тозагии баланд, фишори паст ва ултра тоза бояд пайваста ва устувор ба камераи хунуккунии таҷҳизот интиқол дода шавад. Умуман, зарфе, ки нитрогени моеъро таъмин мекунад, фишори баромади байни 0.3MPa ва 0.8MPa дорад. Нитрогени моеъ дар ҳарорати -196℃ ҳангоми интиқоли қубур ба осонӣ ба нитроген табдил меёбад. Пас аз он ки нитрогени моеъ бо таносуби газ-моеъ тақрибан 1:700 дар қубур газ карда мешавад, он миқдори зиёди фазои ҷараёни нитрогени моеъро ишғол мекунад ва ҷараёни муқаррариро дар охири қубури нитрогени моеъ кам мекунад. Илова бар ин, дар зарфи нигоҳдории нитрогени моеъ эҳтимол дорад, ки партовҳое бошанд, ки тоза карда нашудаанд. Дар қубури нитрогени моеъ, мавҷудияти ҳавои тар инчунин боиси пайдоиши шлаки ях мегардад. Агар ин ифлосҳо ба таҷҳизот партофта шаванд, он ба таҷҳизот зарари пешгӯинашаванда мерасонад.

Аз ин рӯ, нитрогени моеъ дар зарфи нигоҳдории беруна ба таҷҳизоти MBE дар коргоҳи бе чанг бо самаранокии баланд, устуворӣ ва тозагӣ интиқол дода мешавад ва фишори паст, бе нитроген, бе ифлосӣ, 24 соат бефосила, чунин системаи назорати интиқол маҳсулоти босифат аст.