Системаҳои хунуккунии нитрогени моеъ дар саноати нимноқилҳо ва чипҳо, аз ҷумла равандҳои зерин, васеъ истифода мешаванд.
- Технологияи эпитаксияи шуои молекулавӣ (MBE)
- Санҷиши чип пас аз бастабандии COB
Маҳсулоти марбут
Силсилаи қубурҳои изолятсияи вакуумӣ
Силсилаи шлангҳои чандири изолятсияшудаи вакуумӣ
Системаи насоси вакуумии динамикӣ
Силсилаи ҷудокунандаи фазаи изолятсияшудаи вакуумӣ
Силсилаи клапанҳои изолятсияи вакуумӣ
Таҷҳизоти дастгирии системаи қубурӣ
ЭПИТАКСИ ШУЪАИ МОЛЕКУЛӢ
Технологияи эпитаксияи шуои молекулавӣ (MBE) дар солҳои 1950-ум барои тайёр кардани маводҳои плёнкаи тунуки нимноқил бо истифода аз технологияи бухоршавии вакуумӣ таҳия шудааст. Бо рушди технологияи ултрабаланд вакуумӣ, татбиқи ин технология ба соҳаи илми нимноқилҳо низ густариш ёфтааст.
HL талаботро ба системаи хунуккунии нитрогени моеъи MBE, як пойгоҳи техникии муташаккил барои таҳияи бомуваффақияти системаи махсуси хунуккунии нитрогени моеъи MBE барои технологияи MBE ва маҷмӯи пурраи системаи қубурҳои изолятсияи вакуумӣ, ки дар бисёр корхонаҳо, донишгоҳҳо ва институтҳои тадқиқотӣ истифода шудааст, мушоҳида кардааст.
Мушкилоти маъмулии саноати нимноқилҳо ва чипҳо иборатанд аз:
- Фишори нитрогени моеъ ба таҷҳизоти терминалӣ (MBE). Пешгирии аз ҳад зиёд фишор аз осеб расонидан ба таҷҳизоти терминалӣ (MBE).
- Назорати якчанд вуруд ва баромади моеъи криогенӣ
- Ҳарорати нитрогени моеъ ба таҷҳизоти терминалӣ
- Миқдори муносиби партовҳои гази криогенӣ
- (Автоматӣ) гузариши хатҳои асосӣ ва шохаҳо
- Танзими фишор (коҳиш) ва устувории VIP
- Тоза кардани ифлосӣ ва боқимондаҳои ях аз зарф
- Вақти пур кардани таҷҳизоти моеъи терминалӣ
- Пеш аз хунуккунии қубур
- Муқовимати моеъ дар системаи VIP
- Назорати талафоти нитрогени моеъ ҳангоми хидматрасонии қатънашудаи система
Қубури изолятсияи вакуумии HL (VIP) мувофиқи стандарти қубурҳои фишори ASME B31.3 сохта шудааст. Таҷрибаи муҳандисӣ ва қобилияти назорати сифат барои таъмини самаранокӣ ва арзиши корхонаи муштарӣ.
Роҳҳои ҳал
Таҷҳизоти криогении HL ба мизоҷон системаи қубурҳои изолятсияи вакуумӣ пешниҳод мекунад, то ба талабот ва шароити саноати нимноқилҳо ва чипҳо ҷавобгӯ бошад:
1. Системаи идоракунии сифат: Кодекси қубурҳои фишори ASME B31.3.
2. Ҷудокунандаи фазаи махсус бо вуруд ва баромади моеъи криогении сершумор бо функсияи идоракунии автоматикӣ ба талаботи партоби газ, нитрогени моеъи такрорӣ ва ҳарорати нитрогени моеъ ҷавобгӯ аст.
3. Тарроҳии мувофиқ ва саривақтии ихроҷ кафолат медиҳад, ки таҷҳизоти терминалӣ ҳамеша дар доираи арзиши фишори тарҳрезишуда кор мекунанд.
4. Монеаи газ-моеъ дар қубури амудии VI дар охири қубури VI ҷойгир карда мешавад. Монеаи газ-моеъ принсипи мӯҳркунии газро барои бастани гармӣ аз охири қубури VI ба қубури VI истифода мебарад ва талафоти нитрогени моеъро ҳангоми хидматрасонии қатъшаванда ва фосилавии система самаранок кам мекунад.
5. Қубурҳои VI, ки аз ҷониби силсилаи клапанҳои изолятсияи вакуумӣ (VIV) идора карда мешаванд: аз ҷумла клапани хомӯшкунандаи вакуумӣ (пневматикӣ), клапани тафтишкунандаи изолятсияи вакуумӣ, клапани танзимкунандаи изолятсияи вакуумӣ ва ғайра. Намудҳои гуногуни VIV-ро метавон модулӣ барои идоракунии VIP дар ҳолати зарурӣ муттаҳид кард. VIV бо тайёркунии VIP дар истеҳсолкунанда бидуни коркарди изолятсияи дар ҷои худ муттаҳид карда шудааст. Воҳиди мӯҳри VIV-ро ба осонӣ иваз кардан мумкин аст. (HL бренди клапанҳои криогениро, ки аз ҷониби муштариён таъин шудаанд, қабул мекунад ва сипас клапанҳои изолятсияи вакуумӣ аз ҷониби HL истеҳсол мекунад. Баъзе брендҳо ва моделҳои клапанҳоро ба клапанҳои изолятсияи вакуумӣ табдил додан мумкин нест.)
6. Тозагӣ, агар талаботи иловагӣ барои тозагии сатҳи дохилии қубур мавҷуд бошанд. Ба муштариён пешниҳод карда мешавад, ки қубурҳои пӯлоди зангногири BA ё EP-ро ҳамчун қубурҳои дохилии VIP интихоб кунанд, то рехтани пӯлоди зангногирро боз ҳам кам кунанд.
7. Филтри изолятсияи вакуумӣ: Ифлосӣ ва боқимондаҳои яхро аз зарф тоза кунед.
8. Пас аз чанд рӯз ё бештар аз он, ки хомӯш ё нигоҳдорӣ анҷом дода мешавад, пеш аз ворид кардани моеъи криогенӣ, қубурҳои VI ва таҷҳизоти терминалиро пешакӣ хунук кардан хеле муҳим аст, то ки пас аз ворид шудани моеъи криогенӣ мустақиман ба қубурҳои VI ва таҷҳизоти терминалӣ аз шлаки ях пешгирӣ карда шавад. Функсияи пешакӣ хунуккунӣ бояд ҳангоми тарҳрезӣ ба назар гирифта шавад. Он муҳофизати беҳтари таҷҳизоти терминалӣ ва таҷҳизоти ёрирасони қубурҳои VI, ба монанди клапанҳоро таъмин мекунад.
9. Муносиб барои системаи қубурҳои изолятсияи вакуумии динамикӣ ва статикӣ (чандир).
10. Системаи қубурҳои изолятсияи вакуумии динамикӣ (чандир): Аз шлангҳои чандири VI ва/ё қубурҳои VI, шлангҳои ҷамперӣ, системаи клапанҳои изолятсияи вакуумӣ, ҷудокунакҳои фаза ва системаи насоси динамикии вакуумӣ (аз ҷумла насосҳои вакуумӣ, клапанҳои электромагнитӣ ва манометрҳои вакуумӣ ва ғайра) иборат аст. Дарозии шланги ягонаи чандири VI-ро мувофиқи талаботи корбар танзим кардан мумкин аст.
11. Намудҳои гуногуни пайвастшавӣ: Навъи пайвасткунии байонетҳои вакуумӣ (VBC) ва пайвасткунии кафшерӣ интихоб карда мешаванд. Навъи VBC ба коркарди изолятсия дар ҷои кор ниёз надорад.
