Системаҳои хунуккунии нитрогени моеъ дар саноати нимноқилҳо ва чипҳо, аз ҷумла раванди
- Технологияи молекулярии эпитаксия (MBE)
- Санҷиши чип пас аз бастаи COB
Маҳсулоти марбут
Силсилаи қубурҳои изолятсионии чангкашак
Силсилаи шланги чандири изолятсионии чангкашак
Системаи насоси вакууми динамикӣ
Силсилаи ҷудокунандаи марҳилаи изолятсионии чангкашак
Силсилаи клапанҳои изолятсионии вакуумӣ
Таҷҳизоти дастгирии системаи қубур
ЭПИТАКСИЯИ ШУОҲИ МОЛЕКУлярӣ
Технологияи молекулярии эпитаксия (MBE) дар солҳои 1950-ум барои тайёр кардани маводи филми нимноқилӣ бо истифода аз технологияи бухоркунии вакуум таҳия шудааст. Бо рушди технологияи ултра-баланди вакуумӣ, татбиқи технология ба соҳаи илми нимноқилҳо васеъ карда шуд.
HL талаботи системаи хунуккунии нитрогени моеъи MBE, магистрали техникии ташкилшударо барои бомуваффақият таҳия кардани системаи махсуси гармкунии нитрогени моеъи MBE барои технологияи MBE ва маҷмӯи мукаммали қубурҳои изолятсионии вакуумӣ, ки дар бисёр корхонаҳо, донишгоҳҳо ва пажӯҳишгоҳҳо истифода шудааст, пай бурд. .
Проблемаҳои умумии саноати нимноқилҳо ва чипҳо иборатанд аз:
- Фишори нитрогени моеъ ба таҷҳизоти терминал (MBE). Пешгирӣ кардани фишори изофӣ аз таҷҳизоти вайронкунандаи терминал (MBE).
- Назорати чандкаратаи моеъи криогении вуруд ва баромад
- Ҳарорати нитрогени моеъ ба таҷҳизоти терминал
- Миқдори оқилонаи партовҳои гази криогенӣ
- (Автоматӣ) Гузаронидани хатҳои асосӣ ва филиал
- Танзими фишор (кам кардани) ва устувории VIP
- Тоза кардани ифлосиҳои имконпазир ва пасмондаҳои ях аз зарф
- Вақти пур кардани таҷҳизоти моеъи терминал
- Пеш аз хунуккунии қубур
- Муқовимати моеъ дар системаи VIP
- Назорати талафоти нитрогени моеъ ҳангоми хидматрасонии қатъии система
Қубури изолятсионии вакуумии HL (VIP) ҳамчун стандарт ба рамзи қубури фишори ASME B31.3 сохта шудааст. Таҷрибаи муҳандисӣ ва қобилияти назорати сифат барои таъмини самаранокӣ ва арзиши аслии корхонаи фармоишгар.
ҲАЛҲО
Таҷҳизоти криогении HL ба мизоҷон системаи қубурҳои изолятсионии вакуумро барои қонеъ кардани талабот ва шароити саноати нимноқилҳо ва чипҳо пешниҳод мекунад:
1.Системаи идоракунии сифат: ASME B31.3 Кодекси қубурҳои фишор.
2.Сепаратори махсуси марҳилавӣ бо вуруд ва баромади чандкаратаи моеъи криогенӣ бо функсияи назорати автоматӣ ба талаботи партови газ, нитрогени моеъи такрорӣ ва ҳарорати нитрогени моеъ ҷавобгӯ аст.
3.Тарҳрезии кофии ихроҷ ва саривақтӣ кафолат медиҳад, ки таҷҳизоти терминал ҳамеша дар доираи арзиши фишори тарҳрезӣ кор мекунанд.
4.Монеаи гази моеъ дар қубури амудии VI дар охири қубури VI ҷойгир карда шудааст. Монеаи гази моеъ принсипи мӯҳри газро барои бастани гармӣ аз охири лӯлаи VI ба қубури VI истифода мебарад ва талафоти нитрогени моеъро ҳангоми хидматрасонии мутаносиб ва фосилавии система самаранок коҳиш медиҳад.
5.VI қубурҳо, ки аз ҷониби клапани изолятсионии вакуумӣ (VIV) идора карда мешаванд: аз ҷумла клапани вакуумии изолятсияшуда (пневматикӣ), клапани вакуумии изолятсионии вакуумӣ, клапани танзимшавандаи вакуумӣ ва ғайра. Намудҳои гуногуни VIV метавонанд модули муттаҳид карда шаванд, то VIP-ро идора кунанд. талаб карда мешавад. VIV бо омодасозии VIP дар истеҳсолкунанда, бидуни коркарди изолятсионии дар макон ҷойгиршуда муттаҳид карда шудааст. Воҳиди мӯҳри VIV-ро ба осонӣ иваз кардан мумкин аст. (HL бренди криогении криогениро, ки муштариён таъин кардааст, қабул мекунад ва сипас аз ҷониби HL клапанҳои изолятсияи вакуумӣ месозад. Баъзе брендҳо ва моделҳои клапанҳоро ба клапанҳои изолятсияи вакуумӣ сохтан мумкин нест.)
6.Cleanliness, агар талаботҳои иловагӣ барои тозагии сатҳи найҳои дохилӣ вуҷуд дошта бошанд. Тавсия дода мешавад, ки муштариён қубурҳои аз пӯлоди зангногир BA ё EP-ро ҳамчун қубурҳои дохилии VIP интихоб кунанд, то резиши пӯлоди зангногирро минбаъд кам кунанд.
7.Филтри изолятсионии вакуум: ифлосиҳои имконпазир ва пасмондаҳои яхро аз зарф тоза кунед.
8.Баъд аз чанд рӯз ё дарозтар хомӯш ё нигоҳдорӣ, хеле зарур аст, ки VI Piping ва таҷҳизоти терминалро пеш аз ворид шудани моеъи криогенӣ пешакӣ сард кунед, то ки пас аз ворид шудани моеъи криогенӣ ба VI Piping ва таҷҳизоти терминалӣ аз шлакҳои ях пешгирӣ карда шавад. Дар тарҳрезӣ вазифаи пеш аз хунуккунӣ бояд ба назар гирифта шавад. Он барои таҷҳизоти терминал ва таҷҳизоти дастгирии VI Piping, ба монанди клапанҳо, муҳофизати беҳтарро таъмин мекунад.
9.Suit барои ҳам динамикӣ ва ҳам статикии чангкашак изолятсия (фасеҳ) системаи қубур.
10.Системаи қубурҳои динамикии изолятсионии вакуумӣ (фасеҳ): аз шлангҳои чандирии VI ва/ё қубури VI, шлангҳои ҷуброн, системаи вентилятсияи вакуумӣ, сепараторҳои фазавӣ ва системаи насоси динамикии вакуумӣ (аз ҷумла насосҳои вакуумӣ, клапанҳои электромагнитӣ ва вакуумӣ ва ғ.) иборатанд. ). Дарозии ягонаи VI Flexible Hose метавонад мувофиқи талаботи корбар фармоиш дода шавад.
11.Намудҳои Пайвастшавӣ: Вакуумӣ Пайвастшавӣ Bayonet (VBC) Намуди ва Пайвастшавӣ кафшер метавонад интихоб карда шавад. Навъи VBC ба табобати изолятсия дар макон ниёз надорад.
