Мухтасар дар бораи эпитаксияи нури молекулавӣ (MBE)
Технологияи молекулярии эпитаксия (MBE) дар солҳои 1950-ум барои тайёр кардани маводи филми нимноқилӣ бо истифода аз технологияи бухоркунии вакуум таҳия шудааст. Бо рушди технологияи ултра-баланди вакуумӣ, татбиқи технология ба соҳаи илми нимноқилҳо васеъ карда шуд.
Ҳавасмандии тадқиқоти маводи нимноқилҳо талабот ба дастгоҳҳои нав мебошад, ки метавонад кори системаро беҳтар кунад. Дар навбати худ, технологияи нави моддӣ метавонад таҷҳизоти нав ва технологияи нав тавлид кунад. Эпитаксияи нури молекулавӣ (MBE) як технологияи баланди вакуумӣ барои афзоиши қабати эпитаксиалӣ (одатан нимноқилҳо) мебошад. Он нури гармии атомҳо ё молекулаҳои манбаъро истифода мебарад, ки ба субстрати ягона кристалл таъсир мерасонанд. Хусусиятҳои вакууми ултрабаланди раванд имкон медиҳанд, ки дар ҷои металлизатсия ва афзоиши маводи изолятсия дар сатҳи нимноқилҳои навкорам ба вуҷуд ояд, ки дар натиҷа интерфейсҳои бе ифлосшавӣ ба вуҷуд меоянд.
MBE Technology
Эпитаксияи нури молекулавӣ дар вакууми баланд ё вакууми ултра баланд (1 x 10) гузаронида шуд.-8Па) муҳити зист. Муҳимтарин ҷанбаи эпитаксияи чӯби молекулавӣ суръати пасти таҳшиншавии он мебошад, ки одатан имкон медиҳад, ки филм бо суръати камтар аз 3000 нм дар як соат афзоиш ёбад. Чунин суръати пасти таҳшин барои ба даст овардани ҳамон сатҳи тозагӣ мисли усулҳои дигари таҳшин як вакууми кофӣ талаб мекунад.
Барои қонеъ кардани вакууми ултра-баланд, ки дар боло тавсиф шудааст, дастгоҳи MBE (ҳуҷайраи Knudsen) дорои қабати хунуккунӣ мебошад ва муҳити ултра-баланди вакууми камераи афзоиш бояд бо истифода аз системаи гардиши нитрогени моеъ нигоҳ дошта шавад. Нитрогени моеъ ҳарорати дохилии дастгоҳро то 77 Келвин (-196 °C) сард мекунад. Муҳити ҳарорати паст метавонад минбаъд миқдори ифлосҳоро дар вакуум коҳиш диҳад ва барои таҳшин кардани филмҳои тунук шароити беҳтар фароҳам оварад. Аз ин рӯ, барои таҷҳизоти MBE системаи махсуси гардиши хунуккунии нитрогени моеъ лозим аст, то таъминоти доимӣ ва устувори нитрогени моеъро дар ҳарорати -196 °C таъмин кунад.
Системаи гардиши хунуккунии нитрогени моеъ
Системаи гардиши хунуккунии нитрогени моеъ асосан дар бар мегирад,
● зарфи криогенӣ
● қубури қубури вакуумӣ ва қубури қубурӣ / шланги вакуумӣ
● Сепаратори фазавии махсуси MBE ва қубури ихроҷкунандаи вакуумӣ
● клапанҳои гуногуни вакууми jacketed
● монеаи газу моеъ
● филтри куртаи чангкашак
● системаи насоси вакуумӣ динамикӣ
● Пеш аз хунуккунӣ ва тоза кардани системаи гармидиҳӣ
Ширкати HL Cryogenic Equipment талаботро ба системаи хунуккунии нитрогени моеъи MBE, сохтори техникии ташкилшуда барои бомуваффақият таҳияи системаи махсуси гармкунии нитрогени моеъи MBE барои технологияи MBE ва маҷмӯи мукаммали изолятсияи вакуумиро пай бурд.edсистемаи трубопровод, ки дар бисьёр корхонахо, донишкадахои олй ва институтхои илмй чорй карда шудааст.
Таҷҳизоти криогении HL
Таҷҳизоти HL Cryogenic Equipment, ки соли 1992 таъсис ёфтааст, як бренди вобаста ба Ширкати Holy Cryogenic Equipment Chengdu дар Чин мебошад. Таҷҳизоти криогении HL барои тарҳрезӣ ва истеҳсоли системаи қубурҳои изолятсионии криогении баланд вакуум ва таҷҳизоти дастгирии марбута ӯҳдадор аст.
Барои маълумоти иловагӣ, лутфан ба вебсайти расмӣ муроҷиат кунедwww.hlcryo.com, ё почтаи электронӣinfo@cdholy.com.
Вақти фиристодан: 06-06-2021
