Хулосаи эпитаксияи шуои молекулавӣ (MBE)
Технологияи эпитаксияи шуои молекулавӣ (MBE) дар солҳои 1950-ум барои тайёр кардани маводҳои плёнкаи тунуки нимноқил бо истифода аз технологияи бухоршавии вакуумӣ таҳия шудааст. Бо рушди технологияи ултрабаланд вакуумӣ, татбиқи ин технология ба соҳаи илми нимноқилҳо низ густариш ёфтааст.
Ангезаи таҳқиқоти маводҳои нимноқилӣ талабот ба дастгоҳҳои нав аст, ки метавонад кори системаро беҳтар созад. Дар навбати худ, технологияи нави мавод метавонад таҷҳизот ва технологияҳои навро ба вуҷуд орад. Эпитаксияи шуоъи молекулавӣ (ЭШМ) як технологияи вакуумии баланд барои афзоиши қабати эпитаксиалӣ (одатан нимноқил) мебошад. Он аз шуоъи гармии атомҳо ё молекулаҳои манбаъ, ки ба субстрати яккристаллӣ таъсир мерасонанд, истифода мебарад. Хусусиятҳои вакуумии ултрабаланд ин раванд имкон медиҳанд, ки металлизатсияи in-situ ва афзоиши маводҳои изолятсия дар сатҳҳои нимноқилҳои нав парваришёфта ба амал оянд, ки дар натиҷа интерфейсҳои бе ифлосшавӣ ба вуҷуд меоянд.
Технологияи MBE
Эпитаксияи шуои молекулавӣ дар вакууми баланд ё вакууми ултрабаланд (1 x 10) гузаронида шуд.-8Па) муҳити зист. Ҷанбаи муҳимтарини эпитаксияи шуоъи молекулавӣ суръати пасти таҳшиншавии он аст, ки одатан ба плёнка имкон медиҳад, ки эпитаксиалӣ бо суръати камтар аз 3000 нм дар як соат афзоиш ёбад. Чунин суръати пасти таҳшиншавӣ вакууми кофӣ баландро талаб мекунад, то ба ҳамон сатҳи тозагӣ мисли дигар усулҳои таҳшиншавӣ ноил гардад.
Барои қонеъ кардани вакууми ултра-баланд, ки дар боло тавсиф шудааст, дастгоҳи MBE (ҳуҷайраи Knudsen) қабати хунуккунӣ дорад ва муҳити вакууми ултра-баланд дар камераи афзоиш бояд бо истифода аз системаи гардиши нитрогени моеъ нигоҳ дошта шавад. Нитрогени моеъ ҳарорати дохилии дастгоҳро то 77 Келвин (−196 °C) хунук мекунад. Муҳити ҳарорати паст метавонад миқдори ифлосҳоро дар вакуум боз ҳам кам кунад ва шароити беҳтареро барои ҷойгиршавии плёнкаҳои тунук фароҳам оварад. Аз ин рӯ, барои таҷҳизоти MBE як системаи махсуси гардиши хунуккунии нитрогени моеъ лозим аст, то таъминоти пайваста ва устувори нитрогени моеъи -196 °C таъмин карда шавад.
Системаи гардиши хунуккунии нитрогени моеъ
Системаи гардиши хунуккунии нитрогени моеъи вакуумӣ асосан аз инҳо иборат аст,
● зарфи криогенӣ
● қубури вакуумии пӯшидашуда / шланги вакуумии пӯшидашуда
● Сепаратори фазаи махсуси MBE ва қубури ихроҷи бо рӯйпӯши вакуумӣ пӯшонидашуда
● клапанҳои гуногуни пӯшонидашудаи чангкашак
● монеаи газ-моеъ
● филтри пӯшидашудаи вакуумӣ
● системаи насоси вакуумии динамикӣ
● Системаи гармкунии пешакӣ хунуккунӣ ва тозакунӣ
Ширкати таҷҳизоти криогении HL талаботро ба системаи хунуккунии нитрогени моеъи MBE, пойгоҳи техникии муташаккил барои таҳияи бомуваффақияти системаи махсуси хунуккунии нитрогени моеъи MBE барои технологияи MBE ва маҷмӯи пурраи изолятсияи вакуумӣ мушоҳида кардааст.edсистемаи қубурӣ, ки дар бисёр корхонаҳо, донишгоҳҳо ва институтҳои тадқиқотӣ истифода шудааст.
Таҷҳизоти криогении HL
Ширкати HL Cryogenic Equipment, ки соли 1992 таъсис ёфтааст, бренди марбут ба ширкати Chengdu Holy Cryogenic Equipment дар Чин мебошад. Ширкати HL Cryogenic Equipment ба тарҳрезӣ ва истеҳсоли системаи қубурҳои криогении изолятсияшудаи баландвакуумӣ ва таҷҳизоти ёрирасони марбута содиқ аст.
Барои маълумоти бештар, лутфан ба вебсайти расмӣ муроҷиат кунедwww.hlcryo.com, ё ба суроғаи почтаи электронӣ фиристедinfo@cdholy.com.
Вақти нашр: 06 майи соли 2021
