Шарҳи мухтасари системаи қубурҳои изолятсияи вакуумӣ дар татбиқи криогении саноати чипҳо

Истеҳсол ва тарҳрезии Системаи қубурҳои изолятсияшудаи вакуумӣ барои интиқоли нитрогени моеъ масъулияти таъминкунанда мебошад. Барои ин лоиҳа, агар таъминкунанда шароит барои андозагирии дар макон надошта бошад, нақшаҳои самти қубур бояд аз ҷониби ширкат пешниҳод карда шаванд. Сипас, таъминкунанда Системаи қубурҳои VI-ро барои сенарияҳои нитрогени моеъ тарҳрезӣ мекунад.

Таъминкунанда бояд тарҳи умумии системаи лӯлакаширо аз ҷониби тарроҳони ботаҷриба мувофиқи нақшаҳо, параметрҳои таҷҳизот, шароити макон, хусусиятҳои нитрогени моеъ ва дигар омилҳои пешниҳодкардаи дархосткунанда анҷом диҳад.

Мундариҷаи тарҳ намуди лавозимоти система, муайян кардани мавод ва хусусиятҳои қубурҳои дохилӣ ва берунӣ, тарҳрезии схемаи изолятсия, схемаи қисмати пешакӣ сохташуда, шакли пайвастшавӣ байни қисматҳои қубур, кронштейни қубури дохилӣ, шумора ва мавқеи клапани вакуумӣ, нест кардани мӯҳри газ, талаботи криогении моеъи таҷҳизоти терминалӣ ва ғайраро дар бар мегирад. Ин схема бояд пеш аз истеҳсол аз ҷониби кормандони касбии дархосткунанда тасдиқ карда шавад.

Мундариҷаи тарҳрезии системаи қубурҳои изолятсияшудаи вакуумӣ васеъ аст, дар ин ҷо ба барномаҳои HASS ва таҷҳизоти MBE дар баъзе мушкилоти маъмулӣ, сӯҳбати оддӣ.

1 2

VI Қубурсозӣ

Зарфи нигоҳдории нитрогени моеъ одатан аз таҷҳизоти HASS Application ё MBE дароз аст. Дар ҳоле ки қубури изолятсияи вакуумӣ ба дохили бино ворид мешавад, бояд мувофиқи тарҳбандии ҳуҷра дар бино ва ҷойгиршавии қубури саҳроӣ ва канали ҳаво аз он худдорӣ кард. Аз ин рӯ, интиқоли нитрогени моеъ ба таҷҳизот ҳадди аққал садҳо метр қубурро талаб мекунад.

Азбаски худи нитрогени моеъи фишурдашуда миқдори зиёди газро дар бар мегирад, дар якҷоягӣ бо масофаи интиқол, ҳатто қубури адиабатӣ дар раванди интиқол миқдори зиёди нитрогенро ба вуҷуд меорад. Агар нитроген холӣ нашавад ё партовҳо хеле кам бошанд, ки ба талабот ҷавобгӯ бошанд, он боиси муқовимати газ мегардад ва боиси суст шудани ҷараёни нитрогени моеъ мегардад, ки боиси коҳиши назарраси суръати ҷараён мегардад.

Агар суръати ҷараён нокифоя бошад, ҳарорат дар камераи нитрогени моеъи таҷҳизотро назорат кардан ғайриимкон аст, ки дар ниҳоят метавонад ба вайрон шудани таҷҳизот ё сифати маҳсулот оварда расонад.

Аз ин рӯ, ҳисоб кардани миқдори нитрогени моеъ, ки таҷҳизоти терминалӣ (таҷҳизоти HASS Application ё MBE) истифода мебарад, зарур аст. Дар айни замон, мушаххасоти лӯла мувофиқи дарозӣ ва самти лӯла низ муайян карда мешаванд.

Аз зарфи нигоҳдории нитрогени моеъ сар карда, агар лӯлаи асосии лӯлаи/шланги изолятсияшудаи вакуумӣ DN50 (диаметри дохилӣ φ50 мм) бошад, лӯлаи/шланги шохаи VI-и он DN25 (диаметри дохилӣ φ25 мм) ва шланг байни лӯлаи шоха ва таҷҳизоти терминалӣ DN15 (диаметри дохилӣ φ15 мм) бошад. Дигар арматураҳо барои системаи лӯлаи VI, аз ҷумла ҷудокунандаи фаза, дегазер, вентилятсияи автоматии газ, клапани хомӯшкунии VI/криогенӣ (пневматикӣ), клапани танзимкунандаи ҷараёни пневматики VI, клапани санҷиши VI/криогенӣ, филтри VI, клапани бехатарӣ, системаи тозакунӣ ва насоси вакуумӣ ва ғайра.

3

Ҷудокунандаи фазаи махсуси MBE

Ҳар як ҷудокунандаи фазаи фишори муқаррарии махсуси MBE вазифаҳои зеринро дорад:

1. Сенсори сатҳи моеъ ва системаи автоматии идоракунии сатҳи моеъ ва фавран тавассути қуттии идоракунии барқӣ нишон дода мешавад.

2. Функсияи паст кардани фишор: вуруди моеъи ҷудокунанда бо системаи ёрирасони ҷудокунанда муҷаҳҳаз шудааст, ки фишори нитрогени моеъро дар қубури асосӣ 3-4 бар кафолат медиҳад. Ҳангоми ворид шудан ба ҷудокунандаи фаза, фишорро то ≤ 1Bar мунтазам паст кунед.

3. Танзими ҷараёни воридшавии моеъ: дар дохили ҷудокунандаи фаза системаи назорати шинокунӣ ҷойгир карда шудааст. Вазифаи он танзими худкори миқдори истеъмоли моеъ ҳангоми зиёд ё кам шудани истеъмоли нитрогени моеъ мебошад. Ин бартарии кам кардани тағйирёбии якбораи фишор, ки дар натиҷаи воридшавии миқдори зиёди нитрогени моеъ ҳангоми кушодани клапани пневматикии воридшавӣ ба вуҷуд меояд ва пешгирӣ аз фишори аз ҳад зиёд дорад.

4. Функсияи буферӣ, ҳаҷми муассир дар дохили ҷудокунанда ҷараёни фаврии максималии дастгоҳро кафолат медиҳад.

5. Системаи тозакунӣ: ҷараёни ҳаво ва буғи об дар сепаратор пеш аз гузаштани нитрогени моеъ ва ихроҷи нитрогени моеъ дар сепаратор пас аз гузаштани нитрогени моеъ.

6. Функсияи худкори коҳиши фишори аз ҳад зиёд: Таҷҳизот, ҳангоми гузаштан аз нитрогени моеъ ё дар шароити махсус, боиси афзоиши газикунонии нитрогени моеъ мегардад, ки боиси фишори фаврии тамоми система мегардад. Ҷудокунандаи фазаи мо бо клапани бехатарии коҳишдиҳанда ва гурӯҳи клапанҳои бехатарии коҳишдиҳанда муҷаҳҳаз шудааст, ки метавонад устувории фишорро дар ҷудокунанда самараноктар таъмин кунад ва аз осеб дидани таҷҳизоти MBE аз фишори аз ҳад зиёд пешгирӣ кунад.

7. Қуттии идоракунии барқӣ, ки сатҳи моеъ ва арзиши фишорро дар вақти воқеӣ нишон медиҳад, метавонад сатҳи моеъро дар ҷудокунанда ва миқдори нитрогени моеъро ба муносибати назоратӣ муқаррар кунад. Дар айни замон, дар ҳолати фавқулодда, ҷудокунандаи моеъи газро бо дастӣ ба клапани идоракунии моеъ ворид кунед, ки ин кафолати бехатарии кормандон ва таҷҳизотро фароҳам меорад.

4

Дегассери бисёрҳастаӣ барои барномаҳои HASS

Зарфи нигоҳдории нитрогени моеъи беруна миқдори зиёди нитрогенро дар бар мегирад, зеро он таҳти фишор нигоҳдорӣ ва интиқол дода мешавад. Дар ин система масофаи интиқоли лӯла дарозтар аст, оринҷҳо бештар ва муқовимати бештар вуҷуд дорад, ки боиси гази қисман шудани нитрогени моеъ мегардад. Дар айни замон, найчаи изолятсияи вакуумӣ беҳтарин роҳи интиқоли нитрогени моеъ аст, аммо ихроҷи гармӣ ногузир аст, ки ин инчунин боиси гази қисман шудани нитрогени моеъ мегардад. Хулоса, нитрогени моеъ миқдори зиёди нитрогенро дар бар мегирад, ки боиси пайдоиши муқовимати газ мегардад, ки дар натиҷа ҷараёни нитрогени моеъ ҳамвор намешавад.

Агар дастгоҳи ихроҷ вуҷуд надошта бошад ё ҳаҷми нокифояи ихроҷ мавҷуд бошад, таҷҳизоти ихроҷ дар қубури изолятсияи вакуумӣ боиси муқовимати газ мегардад. Пас аз ташаккули муқовимати газ, қобилияти интиқоли нитрогени моеъ ба таври назаррас коҳиш меёбад.

Дегассери бисёрҳастаӣ, ки махсус аз ҷониби ширкати мо тарҳрезӣ шудааст, метавонад аз холӣ шудани нитроген аз қубури асосии нитрогени моеъ то ҳадди аксар таъмин кунад ва аз пайдоиши муқовимати газ пешгирӣ кунад. Ва Дегассери бисёрҳастаӣ ҳаҷми кофии дохилӣ дорад, метавонад нақши зарфи нигоҳдории буферро бозад ва метавонад ба таври муассир ниёзҳои ҷараёни фаврии қубури маҳлулро қонеъ гардонад.

Сохтори беназири бисёрҳастаии патентшуда, иқтидори ихроҷи самараноктар нисбат ба дигар намудҳои ҷудокунакҳои мо.

5
Бо идома додани мақолаи қаблӣ, ҳангоми тарҳрезии роҳҳои ҳалли системаи қубурҳои изолятсияи вакуумӣ барои татбиқи криогенӣ дар саноати чипҳо, баъзе масъалаҳое ҳастанд, ки бояд ба назар гирифта шаванд.

1

Ду намуди системаи қубурҳои изолятсияи вакуумӣ

Ду намуди системаи қубурҳои изолятсияи вакуумӣ мавҷуданд: системаи статикии VI ва системаи насосии вакуумии динамикӣ.

Системаи статикии VI маънои онро дорад, ки пас аз истеҳсоли ҳар як қубур дар корхона, он дар агрегати насосӣ то дараҷаи муайяни вакуум чангкашак карда мешавад ва мӯҳр карда мешавад. Ҳангоми насб ва истифода дар саҳро, дар муддати муайян ба ҷои кор дубора эвакуатсия кардан лозим нест.

Бартарии Системаи Static VI хароҷоти пасти нигоҳдорӣ мебошад. Пас аз ба кор андохтани системаи қубурҳо, пас аз чанд сол нигоҳдорӣ лозим аст. Ин системаи вакуумӣ барои системаҳое мувофиқ аст, ки ба талаботи баланди хунуккунӣ ниёз надоранд ва ҷойҳои кушода барои нигоҳдорӣ дар макон доранд.

Камбудии системаи статикии VI дар он аст, ки вакуум бо мурури замон кам мешавад. Зеро ҳама маводҳо ҳамеша газҳои микроэлементӣ хориҷ мекунанд, ки ин аз рӯи хосиятҳои физикии мавод муайян карда мешавад. Маводи дар қабати қубури VI мавҷудбуда метавонад миқдори гази хориҷшударо дар раванд кам кунад, аммо онро пурра ҷудо кардан мумкин нест. Ин боиси вакууми мӯҳршудаи муҳити вакуумӣ мегардад, ки пасттар ва пасттар мешавад ва қубури изолятсияи вакуумӣ қобилияти хунуккуниро тадриҷан суст мекунад.

Системаи насосии вакуумии динамикӣ маънои онро дорад, ки пас аз сохтан ва шакл додани қубур, қубур мувофиқи раванди муайян кардани ихроҷ дар корхона холӣ карда мешавад, аммо вакуум пеш аз таҳвил мӯҳр карда намешавад. Пас аз анҷоми насби саҳроӣ, қабатҳои байниҳамдигарии вакуумии ҳамаи қубурҳо бояд тавассути шлангҳои пӯлоди зангногир ба як ё якчанд агрегат пайваст карда шаванд ва барои чангкашак кардани қубурҳо дар саҳро насоси хурди махсуси вакуумӣ истифода шавад. Насоси махсуси вакуумӣ дорои системаи автоматии назорат кардани вакуум дар вақти дилхоҳ ва чангкашак кардан дар ҳолати зарурӣ мебошад. Система 24 соат дар як рӯз кор мекунад.

Камбудии системаи насоси вакуумии динамикӣ дар он аст, ки вакуум бояд бо нерӯи барқ ​​​​нигоҳ дошта шавад.

Бартарии системаи насоси вакуумии динамикӣ дар он аст, ки дараҷаи вакуум хеле устувор аст ва он дар муҳити дарунӣ ва талаботи иҷрои вакуум дар лоиҳаҳои хеле баланд истифода мешавад.

Системаи насосии вакуумии динамикии мо, насоси вакуумии махсуси мобилии муттаҳидшуда, ки тамоми таҷҳизотро барои чангкашак тоза кардан, тарҳбандии қулай ва оқилона барои таъмини таъсири чангкашак, сифати лавозимоти чангкашак барои таъмини сифати чангкашак таъмин мекунад.

Барои лоиҳаи MBE, зеро таҷҳизот дар утоқи тоза ҷойгир аст ва таҷҳизот муддати тӯлонӣ кор мекунад. Қисми зиёди системаи қубурҳои изолятсияшудаи вакуумӣ дар фазои пӯшида дар қабати байни утоқи тоза ҷойгир аст. Дар оянда нигоҳдории вакуумии системаи қубурҳоро амалӣ кардан ғайриимкон аст. Ин ба кори дарозмуддати система таъсири ҷиддӣ мерасонад. Дар натиҷа, лоиҳаи MBE қариб тамоми Системаи Насосии Вакуумии Динамикиро истифода мебарад.

2

Системаи рафъи фишор

Системаи коҳиши фишори хатти асосӣ аз гурӯҳи клапанҳои бехатарии рафъкунанда истифода мебарад. Гурӯҳи клапанҳои бехатарии рафъкунанда ҳамчун системаи ҳифзи бехатарӣ ҳангоми фишори аз ҳад зиёд истифода мешавад. Қубурҳоро ҳангоми истифодаи муқаррарӣ танзим кардан мумкин нест.

Клапани бехатарии бехатарӣ як ҷузъи калидӣ барои таъмини фишори аз ҳад зиёд дар системаи лӯла ва бехатарии кори он мебошад, аз ин рӯ, он дар кори лӯла муҳим аст. Аммо мувофиқи қоида, клапани бехатарӣ бояд ҳар сол барои санҷиш фиристода шавад. Вақте ки як клапани бехатарӣ истифода мешавад ва клапани дигар омода мешавад, вақте ки як клапани бехатарӣ хориҷ карда мешавад, клапани бехатарии дигар ҳанӯз дар системаи лӯла қарор дорад, то кори муқаррарии лӯла таъмин карда шавад.

Гурӯҳи клапанҳои бехатарии бехатарӣ аз ду клапани бехатарии DN15 иборат аст, ки яке барои истифода ва дигаре барои эҳтиётӣ мебошанд. Дар ҳолати кори муқаррарӣ, танҳо як клапани бехатарии бехатарӣ ба системаи қубурҳои VI пайваст аст ва ба таври муқаррарӣ кор мекунад. Клапанҳои бехатарии дигар аз қубури дохилӣ ҷудо карда шудаанд ва дар вақти дилхоҳ иваз карда мешаванд. Ду клапани бехатарӣ тавассути ҳолати гузариши клапани паҳлӯӣ пайваст ва қатъ карда мешаванд.

Гурӯҳи клапанҳои бехатарӣ бо манометри фишор муҷаҳҳаз шудааст, то фишори системаи қубурро дар вақти дилхоҳ тафтиш кунад.

Гурӯҳи клапанҳои бехатарии бехатарӣ бо клапани холӣкунӣ муҷаҳҳаз шудааст. Онро барои холӣ кардани ҳаво дар қубур ҳангоми тозакунӣ истифода бурдан мумкин аст ва ҳангоми кор кардани системаи нитрогени моеъ нитрогенро холӣ кардан мумкин аст.

дав

Таҷҳизоти криогении HL

Ширкати HL Cryogenic Equipment, ки соли 1992 таъсис ёфтааст, бренди марбут ба ширкати Chengdu Holy Cryogenic Equipment дар Чин мебошад. Ширкати HL Cryogenic Equipment ба тарҳрезӣ ва истеҳсоли системаи қубурҳои криогении изолятсияшудаи баландвакуумӣ ва таҷҳизоти ёрирасони марбута содиқ аст.

Дар ҷаҳони имрӯзаи босуръат тағйирёбанда, пешниҳоди технологияи пешрафта ва дар айни замон ба ҳадди аксар расонидани сарфаи хароҷот барои муштариён вазифаи душвор аст. Дар тӯли 30 сол, ширкати HL Cryogenic Equipment Company қариб дар ҳама таҷҳизот ва саноати криогенӣ ба саҳнаи татбиқи амиқтар ворид шудааст, таҷрибаи бой ва боэътимод ҷамъ овардааст ва пайваста таҳқиқ ва кӯшиш мекунад, ки бо таҳаввулоти навтарин дар ҳама соҳаҳои ҳаёт ҳамқадам бошад, ба муштариён роҳҳои ҳалли нав, амалӣ ва самаранокро пешниҳод намуда, муштариёни моро дар бозор рақобатпазиртар гардонад.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


Вақти нашр: 25 августи соли 2021